一、仪器信息
仪器名称:显微镜
仪器编号:2018239811
所属实验室:薄膜制备室
存放地点:北1-111房间
生产厂商:德国徕卡仪器有限公司
设备型号:DM8000M
二、技术指标
1.原装进口研究级智能正置透反射高倍检查显微镜。主机为高度集成式设计。
2.复消色差校正光学系统,从而提高分辨率,彻底消除杂散光等干扰因素,提供最高反差、最高衬度、最高分辨率的最锐利图象。整体光路支持25mm视野直径。要求采用国际标准的45mm齐焦距离,以保证良好的兼容性。
3.斜射照明观察方式:需具备一键式斜射照明观察方式。
4.显微镜光强和光阑:显微镜自动光强功能和自动光阑系统。物镜转换时,显微镜会根据不同的物镜自动调整光强和光阑,自动使显微镜按照设定的最佳状态工作。
5.多功能高反差物镜,带EPI反差增强型标识,物镜直径不小于32mm,物镜倍数参数需满足如下要求:0.7x;5x/0.15;10x/0.30;20x/0.50;50x/0.80;100x/0.9,WD=1mm;(其中100x物镜为长焦物镜)。
三、功能用途
用于观察和测量微米、亚微米器件表面形貌
主要研究方向:微细加工
负责人:赵风周
联系方式:fzzhao@ldu.edu.cn